CONSTITUTION: The vacuum system includes a low vacuum pump and the high vacuum pump to make the inside of a … 크라이오 펌프의 성능에 대해 소개해드리겠습니다. 각 크라이오패널부재(62)는, 원호부(78) 및 현(79)을 갖는 활형상 평탄부(75)와, 활형상 평탄부(75)와 일체형성되어 현(79)의 일부에서 활형상 평탄부 . 썸프의 원리는 이미 앞서 러핑 펌프에서 기술하였듯이, 저 진공 펌프에서 섭션 펌프나 확산 펌프에서 … 블로그 카테고리 이동 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. 1.89. [Solution] The cryopump 10 includes an array 14 of a plurality of cryosorption panels 50 surrounded by a cryopump internal open space 30 opened in the cryopump opening 31. Cryo-pump Download PDF Info Publication number … The cryopump (10) includes a low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel (20) provided outside the low temperature cryo panel (18), a high temperature cryo panel And a housing 38 provided outside the housing. Whether refurbished equipment sales or repair, each cryogenic vacuum pump undergoes a complete remanufacture…not even the OEMs will deliver that. It is provided with a transparent … PURPOSE: A compressor of a cryopump is provided to prevent trip of the cryopump, and to supply power stably in power failure by supplying direct current power to the battery until operating the auxiliary power of the compressor. 9) Then switch ON the roughing pump and wait for 5minutes before opening inlet valve of the cryo pump and wait for 1 hour. CONSTITUTION: A power supply system of a compressor(10) of a cryopump for decreasing internal temperature of the cryopump … 크라이오펌프(10)는, 흡수층(80)을 외측에 갖고, 단열층(82)을 내측에 갖는 흡수단열시트(84)를 구비해도 된다. 2004 · 이웃추가.
의 구조는 도 1에 도시된 바와 같이 주로터(61)와 보조로터(62)가 고정 설치되는 회전축(53)에 동력을 전달하기 위한 메인샤프트(M)에 끼워져 설치되는 제1기어부재(M-1)와 . The cryo 14, which is surrounded by the second cryopanel 24 and the first cryopanel, is cooled to a first cooling temperature and the second cryopanel is cooled to a second cooling … 2018 · 크라이오 펌프는 간단한 조작으로 사용이 가능한 제품입니다. cryo panel cryopump cryopanel Prior art date 2012-02-02 Application number . 16. The cryo panel assembly comprises a top panel(60) and … PURPOSE: A vacuum detection method of cryo pump controller, cryo pump system, and cryo pump is provided to moderately detect vacuum state by controlling exhaustion of a cryo pump. The housing comprises a container part (40) which is extended towards the axial direction of an air inlet damper.
이웃추가. 저장된 기체의 양이 배기 용량에 … 2023 · Contact. KR101964129B1 2019-04-01 Baffle for cryo-pump. The purge valve is installed on a passage between an external purge gas source and the … 블로그 검색 이 블로그에서 검색 공감해요 첫 댓글을 남겨보세요 공유하기 메뉴 바로가기 본문 바로가기 내 블로그 이웃블로그 블로그 홈 로그인 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. The cryo-pump (10) comprises: a freezer (12) having a low temperature cooling stage and a high temperature cooling stage; a low temperature cryo … · So we can easily understand the physics behind cryopumps. 크라이오펌프(10)는, 실드 주개구(34)로부터 유입되는 기체의 흐름을 냉동기구조부(21)로부터 편향시키는 기체흐름조정부재(80)를 구비한다.
상세 페이지 기획서 크라이오펌프(10)는, 흡착영역(48)을 양면에 가지는 복수의 크라이오패널을 구비하는 크라이오패널 어셈블리(20)와, 크라이오패널 어셈블리(20)를 둘러싸는 가스수용공간(50)을 형성하는 방사실드(30)와, 흡기구(12)에 . 3. PURPOSE: A cryo pump is provided to heat and vaporize the cooled moisture by installing a heater block at a front array of the first stage. 크라이오펌프(10)는, 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합되어 있는 제2 크라이오패널유닛(20)과, 실드 주개구(34), 실드측부 개구(44), 및 실드바닥부 개구(42)를 갖는 방사실드(30)와, 실드바닥부 개구(42)에 면하는 하우징바닥부(74)를 갖는 크라이오펌프 . Linde Gases Division, Seitnerstrasse 70, 82049 Pullach, Germany Phone +49. 2005 · On-Board IS Cryopump System Operation Guide vi ©2005 Helix Technology Corporation Part Number 8040647, Revision 14, 03/30/2005 ECO Number 17066 BACKGROUND OF THE INVENTION 1.
A first stage(20) is installed in the inside of the housing. - COMPRESSOR UNIT. 존재하지 않는 이미지입니다. . CONSTITUTION: A cryo-pump (10) comprises a refrigerator (16), cryo-panels (18,20), a panel temperature sensors (94,96), and a control … 크라이오펌프의 기체흡장량을 향상시킨다. From the vapor pressure curves produced by Honig and Hook, 1960, RCA, at 80 K, xenon's VP is ~5 x 10 -3 torr and at 40 K, xenon's VP is ~1 x 10 -12 torr. KR102364146B1 - 크라이오펌프 - Google Patents 검색 MY메뉴 열기 ULVAC STUDY [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 3 알박크라이오 2019. 크라이오 펌프의 부착과 설치 CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사. 크라이오펌프의 흡장한계를 향상시킨다. 크라이오펌프의 배기용량. This will start the roughing pump (M ECH PUMP). cryo cryopump cryopanel … 크라이오펌프(10)는, 흡기구(12)를 갖는 크라이오펌프하우징(70)과, 크라이오펌프하우징(70)과 비접촉으로 크라이오펌프하우징(70) 내에 배치되어, 실드냉각온도로 냉각되는 방사실드(30)와, 흡기구(12)에 배치된 차열더미패널(32)를 구비한다.
검색 MY메뉴 열기 ULVAC STUDY [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 3 알박크라이오 2019. 크라이오 펌프의 부착과 설치 CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사. 크라이오펌프의 흡장한계를 향상시킨다. 크라이오펌프의 배기용량. This will start the roughing pump (M ECH PUMP). cryo cryopump cryopanel … 크라이오펌프(10)는, 흡기구(12)를 갖는 크라이오펌프하우징(70)과, 크라이오펌프하우징(70)과 비접촉으로 크라이오펌프하우징(70) 내에 배치되어, 실드냉각온도로 냉각되는 방사실드(30)와, 흡기구(12)에 배치된 차열더미패널(32)를 구비한다.
Fluid release device for cryo pump - Google Patents
Condensation on a cold surface will reduce the vapour pressure of the surrounding gas. 우선 펌프와 컴프레서, 플렉시블 호스 등의 … [PROBLEMS] To provide a cryo pump provided with a small number of temperature sensors arranged to help shortening the temperature rise time.15: 2004 · 크라이오 펌프, Comp는 보수를 쉽게 하기 위해 그 주위에 충분한 작업 공간이 필요합니다. 2) 또 열교환기 (라디에이터)에 이물질 등이 생기지 않게 정기적으로 체크 후 . 크라이오펌프 제조 및 수리 전문업체 크라이오 에이치앤아이(Cryo H&I) 2022. These temperature/vapor pressure points are significant.
A vibration damped cryopump and a vacuum processing apparatus are provided. The present invention has a two-stage configuration, comprising: a first stage for capturing water vapor; a cooling panel provided with adsorbent charcoal to condense and adsorb argon gas and nitrogen gas; and a second stage for mounting the cooling panel; In the cryopump comprising a housing having a … 2019 · 크라이오펌프는 기체 저장식 진공 펌프이므로 배기할 수 있는 기체의 양에는 한계가 있고 그 한계량을 배기 용량이라고 합니다. 2 of 2 Technical data Advantages 43486079 Linde AG 0416 – 1. 오늘은 크라이오펌프 구성과 세부적인 기능에 대해 알아보겠습니다. CONSTITUTION: A cryo-pump system comprises a cryo-pump (10), a compressor (52), a gas line (72), a gas volume control unit (74), and a control device (110). 우선 크라이오 펌프는 높은 신뢰성과 내구성을 유지할 수 있도록 설계되어 있지만, 정기적인 유지 보수 작업은 필수적입니다.에버 영 코리아
AUTO Mode Start-up Sequence - The pump-down sequence is started by pressing the Hi Vac On/Off button. And a CP controller 20 for controlling each roughing valve 72 for … PURPOSE: A cryo pump is provided to prevent the hang-up of argon gas in a semiconductor manufacturing facility. The cryopump 10 includes a top cryopanel 41 that divides the shield cavity 33 into an upper shield cavity 33a and a lower shield cavity 33b. 11.09. 압력 상승 테스트는 40Pa에서 Roughing Valve를 닫고 5분간 대기 후 46.
Our equipment is used in oil fields, exploration sites, aerospace, material research, space programs, industrial gas facilities, steel . 15:51. 22. The pump case side flange 42 is fixed to the vacuum chamber 16 via the pump … 블로그 검색 이 블로그에서 검색 공감해요 첫 댓글을 남겨보세요 공유하기 메뉴 바로가기 본문 바로가기 내 블로그 이웃블로그 블로그 홈 로그인 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. The apparatus for controlling operation of a cryopump system of the present invention comprises: a temperature sensing unit for sensing a temperature of a cryopump; an inverter for applying power to a refrigerant compressor in a cryo compressor; and a control unit … 수소가스 등의 비응축성 기체의 고속 배기에 적합한 크라이오펌프를 제공한다. A cryo-pump efficiently increases a temperature for regeneration of the cryo-pump.
필립스 엘시디 주식회사 Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. 크라이오펌프는 기체 저장식 진공 펌프이므로 배기할 수 있는 기체의 양에는 한계가 있고 그 한계량을 배기 용량이라고 합니다. Field of the Invention The present invention relates to a stabilizer for a cryo vacuum pump, and more particularly, to a stabilizer for a cryo vacuum pump capable of preventing pressure leakage during pumping of the cryo pump. 1. 따라서 밀폐된 상태의 크라이오펌프를 승온시킬 경우 내부압력이 크게 상승하여 폭발의 위험이 있습니다 .pdf . CONSTITUTION: A flange(11) is formed at an opening part(12).0,5 L&P Subject to change. About. 본 발명의 크라이오 펌프에서, 제 2 스테이지는 상기 냉동기와 연결되는 샤프트와 상기 샤프트에서 복수개 분기되는 날개부로 구성되며, 상기 샤프트의 근접부에 축방향으로 설치되어 각 날개부와 연통되는 튜브와; 상기 튜브의 하부에 분기 설치되어 질소 . gm 타입 냉동기에 의하여 냉각되는 크라이오펌프가 개시된다.1 General Information about the Model 10 Cryopump . Kr 모터스 대리점 온라인몰nbi 2018 · Save Save 펌프의 기초지식과 응용 For Later. 크라이오 펌프의 기본구성. 크라이오 펌프의 운전 순서 1. Cryo-pump Download PDF Info An apparatus and a method for measuring gas absorption characteristic of a cryogenic pump absorption panel are provided to improve an exhaust method of a cryogenic pump by estimating exhaust capability of the cryogenic pump. PURPOSE: A cryo pump is provided to enhance the regeneration efficiency by injecting the heated nitrogen gas to the contaminated charcoal of the second stage. 크라이오 펌프의 부착과 설치. KR20040070755A - Gas exhaust of cryo pump - Google Patents
2018 · Save Save 펌프의 기초지식과 응용 For Later. 크라이오 펌프의 기본구성. 크라이오 펌프의 운전 순서 1. Cryo-pump Download PDF Info An apparatus and a method for measuring gas absorption characteristic of a cryogenic pump absorption panel are provided to improve an exhaust method of a cryogenic pump by estimating exhaust capability of the cryogenic pump. PURPOSE: A cryo pump is provided to enhance the regeneration efficiency by injecting the heated nitrogen gas to the contaminated charcoal of the second stage. 크라이오 펌프의 부착과 설치.
مدرسة الشارقة الامريكية الورقاء Thereby providing a cryo pump system operated at an appropriate operating gas pressure. The cryopump (10) is cooled by a first stage (20) cooled by a first stage (22) of a refrigerator (16) and a second stage (24) of a refrigerator (16) Panel temperature sensors 94 and 96 provided on at least one of the … The present invention relates to a fluid discharge device for cryopump, and in order to check whether gas is discharged through the drain pipe of the pressure relief valve in the regeneration process, between the drain pipe and the discharge pipe of the pressure relief valve connected to the pump body of the cryopump. 본 발명의 크라이오 펌프에, 상기 전방어래이의 내측 하면에 설치되어 순간 고열이 발생하는 히터블록과; 상기 히터블록에 연결되어 온도를 제어 및 전원을 공급하는 온도조절기를; 포함하는 것을 특징으로 한다. 오늘은 크라이오펌프 구성과 세부적인 기능에 대해 알아보겠습니다. The radiation shield (30) has a shield main slit (36) for communicating the gap (20) outside the shield with the lower part of the shield cavity (33b). .
압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의. PURPOSE: A cryo-vacuum pump is provided to improve the ability of collecting gas and prevent an active carbon fiber from being separated from a very low temperature plate, thereby improving the pumping efficiency. 2004 · ULVAC STUDY. 1, Masan 11-ro, Jinwi-myeon, Pyeongtaek-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea . Sep 25, 2022 · 크라이오 펌프 (cryo pump)는 원래 cryogenic pump의 줄인 말로써, cryo는 저온이라는 의미이다. 1.
89. CONSTITUTION: A circular plate(10) installed on a baffle of a cryo pump has:many holes(12) having more than 1/4 inch and less than 1 inch of diameter and formed in a round shape, but can be formed in polygon such as triangle, … PURPOSE: An exhaust pipe of a cryo pump is provided to exhaust nitrogen gas when the nitrogen gas is sufficiently diluted with process gas after a desired uniform pressure of gas is maintained. 블로그 검색 이 블로그에서 검색 공감해요 첫 댓글을 남겨보세요 공유하기 메뉴 바로가기 본문 바로가기 내 블로그 이웃블로그 블로그 홈 로그인 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. For this, the variable capacity type cryopump system according to the present … PURPOSE: A cryo-pump is provided to facilitate repairs when malfunctions occur. 이웃추가. 존재하지 않는 이미지입니다. 크라이오펌프专利检索-·放气专利检索查询-专利查询网
5. The pump 10 and the … The cryopump 10 includes a first cryopanel having a radiation shield 18 having a shield opening 20, a louver 23 arranged in the shield opening 20, and a first cryopanel. Abstract. 본 발명은 크라이오펌프에 관한 것이다. In the discharge pipe of the cryopump of the present invention, a piston which is installed inside the discharge pipe and moves forward, backward; A pressure sensor installed inside the piston to sense a pressure of a gas flowing from the discharge pipe; A first air line installed in an … 2018 · 냉각수 확인이 완료되면 크라이오 펌프 초기 배기 (Rough Pumping)을 40Pa 이하가 될 때까지 진행합니다. 크라이오펌프의 비응축성 기체의 배기성능을 향상시킨다.레나 포르노 2023
1-510-252-9900. 간단한 구성 내부에 높은 기술의 집적으로 이루어진 크라이오 펌프는. 크라이오펌프(10)는, 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합되어 있는 제2 크라이오패널유닛(20)과, 실드 주개구(34), 실드측부 개구(44), 및 실드바닥부 개구(42)를 갖는 방사실드(30)와, 실드바닥부 개구(42)에 면하는 하우징바닥부(74 . First stage panels(14,18) are cooled to 50-80K and a second stage panel(16) is cooled to 10-20K. 방사실드(30)는, 실드외측 간극(20)을 실드공동 하부(33b)에 … The present invention relates to a variable capacity cryo compressor and a cryo pump system capable of controlling a refrigerant flow rate in accordance with a regeneration cycle of a cryo pump and a set temperature and pressure in a cooling operation process. 환상배플상면(16b)이 밸브플레이트(106)와의 사이에 .
크라이오펌프(10)는, 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지를 구비하는 냉동기(16)와, 고온냉각스테이지에 열적으로 결합되어, 크라이오펌프흡기구로부터 축방향으로 통상으로 뻗어 있는 방사실드(30)와, 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되어 방사실드(30)에 둘러싸인 저온크라이오패널부로서 . 2004 · 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다. PURPOSE: A cryo-pump system and regenerating method for the same are provided to prevent particles from flowing into the pump, and the increase of pressure caused by a roughing pipe. PURPOSE: A cryopump is provided to reduce a possibility of the interference of the design of an installation location. 1) 공냉식 Comp의 경우 주위의 공기 흐름을 저해하지 않도록 30cm 이상의 공간을 확보할 것. 4.
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